无腔垂直线性光放大器

本发明公开无腔垂直线性光放大器，涉及半导体光电子器件与光通信技术领域。该放大器包括InP基半导体层堆、沿外延层法向依次设置并通过隧穿互连结构电串联的至少三个增益单元、与各有源区的电流注入区重叠的公共光通道、微光学耦合结构及电极结构。器件的输入光学界面与输出光学界面之间不设置成对的谐振增强腔反射结构，光信号沿外延层法向单程通过各有源区。该器件适于高速相干光信号和强度调制直接检测光信号的幅度、相位保真放大，并便于晶圆级测试和二维阵列集成。