一种堆叠式三轴压电柔性铰链平台

本发明提供一种堆叠式三轴压电柔性铰链平台，属于机械精密位移驱动技术领域。该铰链平台为沿Z向的堆叠式结构，从下往上依次为：设置有Z轴位移单元的主体、X轴位移单元、Y轴位移单元以及载物台；Z轴位移单元安装在主体内部，主体具有固定端和沿Z向的移动端；Z轴位移单元顶部具有Z轴输出块；Z轴输出块与主体的移动端连接；主体的移动端安装有第一隔板；X轴输出块安装在第一隔板上；X轴输出块具有固定端和沿X向的移动端；X轴位移单元安装在X轴输出块上；第二隔板安装在X轴输出块的移动端；Y轴输出块安装在第二隔板上；Y轴输出块具有固定端和沿Y向的移动端；载物台与Y轴输出块的移动端相连。