一种可复用高功率等离子体的发生方法

本发明公开了一种可复用高功率等离子体的发生方法，涉及等离子体技术领域，用以解决现有技术中难以连续形成等离子体、形成等离子体的击穿电压需求较高的问题。本发明的装置包括正极、绝缘筒、负极、外壳、定位组件、绝缘管、自由导体和限位弹簧；正极与所述负极同轴设置，绝缘筒位于正极和负极之间，绝缘筒分别与正极和负极连接，负极与外壳连接，定位组件对外壳进行定位和约束；发生方法包括以下步骤：步骤1：连接脉冲电源；步骤2：调整放电参数；步骤3：产生等离子体；步骤4：停止产生等离子体；步骤5：继续产生等离子体。本发明的可复用高功率等离子体的发生方法实现了无需较高击穿电压就能形成等离子体，能够连续形成等离子体。