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半导体晶体管器件及其制造方法

发明专利未知
15权利要求 · 10 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

K·格雷本; R·罗斯; J·V·拉达赫

申请日

Apr 2, 2026

公开日

Oct 16, 2026

IPC 分类

H10D 30/60 (2025.01)H10D 30/01 (2025.01)H10D 64/27 (2025.01)H10D 64/23 (2025.01)

本申请涉及一种半导体晶体管器件(10),包括:半导体本体(20),例如碳化硅(SiC)半导体本体(21);在半导体本体(20)的第一侧(20.1)上的绝缘层(30);绝缘层(30)上的金属化(40);其中金属化层(40)包括阻挡层(41)和布置在阻挡层(41)上的上层(42),其中接触孔(35)与绝缘层(30)相交,接触孔(35)具有宽度w,其中阻挡层(41)具有厚度t,其至少是接触孔的宽度w的一半,t ≥ w/2。

§ Ⅵ

专利附图

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