光电探测器及其形成方法

一种光电探测器及其形成方法，探测器包括：开口，贯穿第一介质层和部分基底；第一扩散层，位于开口的侧壁，第一扩散层中掺杂有第一型离子；第二扩散层，与第一扩散层相背离且覆盖开口的侧壁，第二扩散层中掺杂有第二型离子；光吸收层，位于开口的剩余空间中且覆盖第一扩散层侧壁和第二扩散层侧壁；第一型掺杂区，位于光吸收层的侧壁，且第一型掺杂区由第一扩散层中的第一型离子扩散形成；第二型掺杂区，位于光吸收层的侧壁，且第二型掺杂区由第二扩散层中的第二型离子扩散形成。在开口设置第一扩散层和第二扩散层，在降低光吸收层的侧壁往基底中侧掏的同时，使光吸收层两侧的载流子传输距离得到减小，提高光电探测器的带宽。