基于超表面匀光的高饱和光电探测器

本发明涉及光电探测与微波光子技术领域，特别涉及一种基于超表面匀光的高饱和光电探测器，包括：超表面结构层，用于对入射光束进行相位调制，得到聚焦和匀光后的光束；衬底层，在通信波段（如1310 nm或1550 nm）为半透明衬底，位于超表面结构层上方，以接收并传播聚焦和匀光后的光斑，以形成均匀分布的光斑；吸收层，位于衬底层上方，以吸收均匀分布的光斑，并产生光生载流子；光电探测器结构层，位于吸收层上方，以收集光生载流子，并输出相应的电信号。由此，解决了高斯光束分布不均引发的局部过饱和与严重热效应等问题。