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衬底处理方法及衬底处理装置
发明专利未知
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10权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
石井弘晃; 安武阳介; 石川道明; 奥村慎一郎; 石井淳一; 船桥和雅; 阿部寿洋
申请日
Apr 2, 2026
公开日
Oct 16, 2026
IPC 分类
H10P 70/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)H10P 72/30 (2026.01)B08B 13/00 (2006.01)B08B 11/00 (2006.01)
本衬底处理方法中，由第2搬送机构将清洗治具从清洗治具收容部搬送到衬底载置部(步骤S11)，由第1搬送机构将衬底从衬底收容部搬送到衬底载置部(步骤S13)，衬底载置部中，将衬底积层在清洗治具，取得附有清洗治具的衬底作为处理前衬底(步骤S15)，由第2搬送机构将处理前衬底从衬底载置部搬送到处理单元(步骤S16)，在处理单元中进行处理前衬底的清洗处理(步骤S17)。