吸附装置以及吸附装置的制造方法

本发明提供一种抑制温度不均的产生、并构成为可进行温度调整的吸附装置以及吸附装置的制造方法。提供一种吸附装置（1），具备：吸附单元（3），具有构成为可吸附工件（W）的吸盘；基体（2），包含设置有吸附单元（3）的吸附面（21）以及作为吸附面（21）的相反侧的面的非吸附面（23）；温控配管（4），配置在非吸附面（23）且构成为温控介质可流通；以及热扩散层（5），热传导率为60 W/m·K以上且表观密度为10 g/cm以下，并且被覆温控配管（4）。