基板处理装置

本发明涉及一种基板处理装置，更详细地涉及一种可以在支承基板的静电吸盘的解吸附时感测残留静电力而防止基板的损坏或者破损等的基板处理装置，所述基板处理装置具备：腔体，提供对基板的处理空间；静电吸盘，设置于所述腔体的内侧而被安放所述基板；升降销，配置成贯通所述静电吸盘；销移动单元，使所述升降销上下移动；以及第一感测部，感测被所述升降销施加的负载或者扭矩。