夹持与释放装置、基板加工设备及装置控制方法

本说明书实施例提供夹持与释放装置、基板加工设备及装置控制方法，其中所述夹持与释放装置包括：绕中心轴线转动的卡盘基体；多个夹持机构，环绕设置在卡盘基体上，夹持机构具有限位部，夹持机构在卡盘基体上活动设置，以使限位部在夹持位置与释放位置之间切换；联动机构，随卡盘基体同步转动，夹持机构与联动机构联动配合；以及释放机构，独立于卡盘基体设置；释放机构受控地与联动机构选择性配合，以限制联动机构随卡盘基体同步转动；在释放机构限制联动机构且卡盘基体转动时，联动机构与卡盘基体之间产生相对运动，夹持机构受相对运动的作用而运动，以使限位部从夹持位置切换至释放位置。在保证夹持稳定性的同时，简化夹持与释放装置的结构。