一种晶圆薄膜厚度不均匀性的测量方法

一种晶圆薄膜厚度不均匀性的测量方法，方法包括：测量区域划分模块获取待测晶圆，并排除待测晶圆的边缘区，然后将待测晶圆的有效测量范围划分为互不相连的T个区域；实测IF位移差获取模块以线偏振光入射至待测晶圆，获取待测晶圆的实测IF位移差曲线；理论IF位移差获取模块将待测晶圆视为均匀薄膜，建立理论IF关系模型，进而获得理论IF位移差曲线；反演计算模块将实测和理论IF位移差曲线进行反演拟合，获得T个有效测量区域下每个区域晶圆薄膜的厚度；厚度不均匀性评价模块将待测晶圆每个区域晶圆薄膜的厚度，带入晶圆薄膜厚度不均匀性模型中，得到待测晶圆的晶圆薄膜厚度不均匀性评价结果。效果：能够精准测量晶圆薄膜厚度的不均匀性。