反溅缺陷监测方法、控制器及反溅缺陷监测装置

本申请实施例提供一种反溅缺陷监测方法、控制器及反溅缺陷监测装置，通过获取表征晶圆旋转产生的飞溅液滴遮挡状态的液滴传感信号并生成各飞溅液滴对应的坐标分布图信息，结合飞溅液滴的时序图像信息解析各飞溅液滴的液滴运动方向，能够在涂覆工艺过程中识别预设限定区域内远离腔体侧壁移动的液滴并统计其数量，进而在液滴数量达到预设数量阈值时将晶圆送入检测机台确认是否存在液滴飞溅缺陷，以提高反溅缺陷监测的实时性与准确性，并提升工艺监控效率。