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曝光装置、曝光用容器及曝光系统
发明专利未知
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11权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G02B 26/10 (2006.01)
提供一种能够提高溶胀了的凝胶的三维光造型中的精度的曝光装置。曝光装置(1)具备:成像光学系统,将曝光光束(LE)成像于溶胀了的凝胶(41);照明光学系统(20),对载置凝胶(41)的基板(培养皿42的底板)照射照明光(LL);以及检测光学系统(30),将在基板(培养皿42的底板421)的各点反射或散射出的照明光(LL)的反射光或散射光成像于光检测器(35)的各点。
§ Ⅵ
专利附图
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