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感光性元件及其制造方法、抗蚀剂图案的制造方法以及导体图案的制造方法
发明专利未知
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14权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
G03F 7/004 (2006.01)
本发明涉及一种感光性元件及其制造方法,所述感光性元件具备支撑膜、配置于支撑膜上的正型感光性树脂膜及配置于感光性树脂膜上的保护膜,感光性树脂膜的平均厚度为80μm以上,感光性树脂膜含有有机溶剂,所述有机溶剂的含量以感光性树脂膜的总量为基准,为7.0质量%以上且小于18.0质量%。
IPC 分类
本发明涉及一种感光性元件及其制造方法,所述感光性元件具备支撑膜、配置于支撑膜上的正型感光性树脂膜及配置于感光性树脂膜上的保护膜,感光性树脂膜的平均厚度为80μm以上,感光性树脂膜含有有机溶剂,所述有机溶剂的含量以感光性树脂膜的总量为基准,为7.0质量%以上且小于18.0质量%。