经配置用于传输脉冲电压波形的等离子体处理系统

等离子体处理系统包括配置为生成具有第一频率的脉冲电压波形的脉冲电压源。所述等离子体处理系统包括配置为生成具有第二频率的射频波形的射频源，所述第二频率高于所述第一频率。所述等离子体处理系统包括接线盒外壳，所述接线盒外壳将所述脉冲电压源电气耦合至与基板支撑件相耦接的直流导体，并进一步电气耦合所述脉冲电压源至与射频底板相耦接的射频导体。所述接线盒外壳包括脉冲电压滤波电路，所述脉冲电压滤波电路耦接在所述射频源和所述射频导体之间，并可操作用于滤波所述脉冲电压波形。所述接线盒外壳进一步包括射频滤波电路，所述射频滤波电路耦接在所述脉冲电压源和所述直流导体之间，并可操作用于滤波所述射频波形。