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EUV辐射产生方法
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
斯坦·约翰内斯·雅各布斯·德朗格; J·希尔; O·O·维尔索拉托; M·A·普维斯; D·J·W·布朗
申请日
Feb 28, 2025
公开日
Oct 16, 2026
IPC 分类
H05G 2/00 (2006.01)
一种产生极紫外（EUV）辐射的方法，包括将激光束的激光脉冲引导至锡目标上以产生EUV发射等离子体，其中所述激光脉冲具有至少150 ns的持续时间且具有在1.6微米与2.5微米之间的波长。