用于使用真空变压吸附提高气体纯度的方法

本方法包含通过从输入质量流量控制器供应输入气体并经由输出质量流量控制器从气柱排放输出气体来对所述气柱加压。所述输入气体包含至少99.9%的Xe及0.05%到0.1%的Ar。所述输入质量流量控制器的输入质量流率大于所述输出质量流量控制器的输出质量流率以将Xe吸附到所述气柱中的吸附剂中。响应于所述气柱达到最大压力，停止输入气体供应并从所述气柱吹扫所述输出气体。所述输出气体包含小于99.9%的Xe及大于0.1%的Ar。从所述气柱抽取经纯化气体以将所述Xe从所述吸附剂解吸。所述经纯化气体包含至少99.99%的Xe。