一种多晶硅冷氢化用分级喷淋板式洗涤塔

本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体是一种多晶硅冷氢化用分级喷淋板式洗涤塔，包括塔体，塔体内设多层穿流筛板塔盘，塔体底部设有进气组件，进气组件与滤尘组件相连；塔体内设有下段粗洗喷淋组件、中段精制喷淋组件和塔顶除雾喷淋组件构成的三级喷淋系统；还设有循环供液组件，用于供液及洗涤液净化回收；以及塔盘清洗组件，用于自动清洗塔盘。本发明通过分级喷淋与板式塔结合，配合进气预过滤、在线清洗和洗涤液循环回用，有效解决了塔盘堵塞和气流分布不均的问题，提高了杂质脱除效率，延长了运行周期，适用于冷氢化尾气的高效净化处理。