复杂表面多参干涉与脉冲离子束测量加工一体化方法装置

本发明涉及复杂表面多参干涉与脉冲离子束测量加工一体化方法装置，属于精密光学设备技术领域。方法包括：将待加工光学元件固定于可转运装夹组件，并全程保持二者相对位姿不变；建立工件坐标系，标定其与测量坐标系、加工坐标系的转换关系；通过共享光路与被测口径的宽谱、单频干涉通道执行共孔径测量，采集光信号后基于虚实融合干涉模型得到测量参数；基于转换关系，将测量参数映射至工件坐标系生成表面状态数据，将其与目标数据比对得到目标去除量分布；结合预先标定的单脉冲去除函数与坐标变换矩阵求解加工参数，实施脉冲离子束材料去除。本发明可降低重复装夹与环境切换引入的误差，实现复杂光学表面多参数测量与确定性加工的闭环修正。