一种基于边缘耦合导光抛光垫的光催化抛光装置及方法

本发明公开了一种基于边缘耦合导光抛光垫的光催化抛光装置，包括抛光盘和固定设置于所述抛光盘表面的抛光垫，所述抛光垫的上方设置有至少一组可相对其上下移动的抛光头，所述抛光垫的侧面边缘处沿其周线设置有环形光源阵列，所述环形光源阵列由多个可独立控制的光源组成，所述抛光垫的表面设置有多个沟槽，且所述沟槽的两个侧面均为倾斜状。本发明还公开了一种基于边缘耦合导光抛光垫的光催化抛光方法。通过将抛光垫作为光波导介质，光源由抛光垫的边缘横向引入并从抛光界面的微型沟槽向上溢出，彻底解决了载片头对光线的遮挡问题，保证了碳化硅晶圆全表面持续受到均匀的光催化与光流变激发。