一种光刻胶灌装控制能力监测方法及系统

本发明涉及工业自动控制与智能监测技术领域，具体为一种光刻胶灌装控制能力监测方法及系统；所述方法包括：获取目标灌装流量、目标灌装流量范围、目标灌装量、实际灌装流量、累计实际灌装量、供料泵输出控制值和调节阀开度，确定参考控制组合；分别逐级提高和降低供料泵输出控制值，并通过调节阀开度补偿实际灌装流量，根据首次补偿未恢复及恢复前一可用控制组合后的流量状态确定第一方向控制边界和第二方向控制边界，生成当前可用控制组合序列；确定当前灌装控制组合，并持续更新双向控制边界和当前可用控制组合序列，在达到安全停灌条件时执行安全停灌。本发明实现光刻胶灌装剩余控制能力的在线监测及安全防护。