一种高纯氧化钽靶材的焊接方法

本发明提供一种高纯氧化钽靶材的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：（1）对五氧化二钽靶坯的焊接面进行喷砂处理，形成粗化面，并在该粗化面上沉积镍镀层；（2）在步骤（1）所得靶坯的镍镀层上以及金属背板的焊接面上分别涂覆焊料；（3）在涂覆有焊料的所述金属背板的焊接面上均匀铺设金属丝；（4）将所述靶坯的焊接面与铺设有所述金属丝的背板焊接面对准贴合，进行焊接，得到高纯氧化钽靶材。本发明通过表面粗化预处理加上PVD镀镍过渡层复合工艺，从根本上改善焊接界面，从而提高五氧化二钽陶瓷靶材的焊接强度。