一种锂钠体系氧化物陶瓷薄膜、其制备方法和应用

本发明属于陶瓷制备技术领域，具体涉及一种锂钠体系氧化物陶瓷薄膜、其制备方法和应用。该方法包括以下步骤：1）将钠源、锂源和铝源分别进行液相研磨，分别得到钠前驱体、锂前驱体和铝前驱体；2）以步骤1）得到的各前驱体为原料，通过恒压化学气相沉积在反应基板上制备锂钠体系氧化物陶瓷薄膜。本发明通过对前驱体原料的预处理和采取合适的工艺条件，成功合成各种锂钠铝酸盐体系陶瓷薄膜。且使其沉积速率最高达到100μm/h以上，极大提高生产效率。