一种用于半导体制程冷却液的六氟丙烯二聚体制备方法

本发明涉及一种用于半导体制程冷却液的六氟丙烯二聚体制备方法，属于有机化学工业领域。向聚四氟乙烯内衬反应釜中加入负载催化剂、去离子水，密封后抽真空；通入六氟丙烯，边搅拌边反应，得到六氟丙烯二聚体粗品；将六氟丙烯二聚体粗品依次进行水洗、无水硫酸钠干燥、通过0.22μm滤膜过滤、精馏，收集塔顶馏分得到六氟丙烯二聚体；负载催化剂通过氟化铯、无水DMAc、MOF:UIO‑66(Zr)‑NH、4‑丙烯基哌啶、乙二胺制备得到；本发明的负载催化剂，可有效提高六氟丙烯二聚体的纯度，降低金属离子含量，满足半导体制程冷却液的严苛要求。