一种前体树脂聚羟基酰胺胺酸酯及其制备方法和在聚酰亚胺光刻胶中的应用

本发明属于高频微电子封装技术领域，具体涉及一种前体树脂聚羟基酰胺胺酸酯及其制备方法和在聚酰亚胺光刻胶中的应用。本发明提供的前体树脂聚羟基酰胺胺酸酯，具有式1a或式1b所示结构。本发明提供了一种聚酰亚胺光刻胶组合物，包括前体树脂聚羟基酰胺胺酸酯100份，有机溶剂10~10000份，阻溶剂5~40份，功能添加剂0.1~100份。本发明提供的前体树脂聚羟基酰胺胺酸酯制备的聚酰亚胺光刻胶具备良好的图形化能力，并在固化后兼具高频低介电特性与优异综合性能，包括热、力以及固体表面性能，可应用于高频环境下的高密度集成封装技术中RDL、TSV所用的介电隔离层中。式1a；式1b。