一种孔道内原位填充氧化铝的介孔球形氧化铈纳米磨粒及其制备方法和应用

本发明涉及化学机械抛光技术领域，具体为一种高抛光性能的孔道内原位填充氧化铝的介孔球形氧化铈纳米磨粒及其制备方法和应用；本发明采用乙二醇‑乙酸溶剂热法合成介孔球形、尺寸可控、粒度分布均匀、高化学活性的氧化铈纳米磨粒，在此基础上采用沉淀法将氧化铝颗粒均匀填充于介孔球形氧化铈磨粒内部孔道，成功合成氧化铈孔道内嵌氧化铝纳米磨粒，显著提升磨粒机械强度与化学抛光活性；基于本发明纳米磨粒调节固含量为0.5 wt%配制抛光液，应用于石英玻璃化学机械抛光，材料去除率最高可达221.85nm/min，实现高去除率与超光滑低损伤表面的协同优化。