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掩膜板组件、掩膜板组件的调节方法以及掩膜板框架

发明专利未知
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10权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

章紫闻

申请日

Apr 11, 2025

公开日

Oct 20, 2026

IPC 分类

C23C 14/04 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)

本申请公开了一种掩膜板组件、掩膜板组件的调节方法以及掩膜板框架。掩膜板组件包括掩膜板框架以及掩膜板,掩膜板框架包括第一台阶部以及连接在第一台阶部上的多个第二台阶部,第一台阶部包括中空区以及沿第一方向位于中空区两侧的第一边框区,多个第二台阶部成对设置于两侧的第一边框区且在各第一边框区内沿第二方向间隔排布,掩膜板包括沿第二方向间隔设置的多个掩膜条,每个掩膜条两端对应连接于成对的第二台阶部,至少部分第二台阶部沿第一方向相对第一台阶部的连接位置可调,以拉紧或放松掩膜条,从而能够在张网后调整掩膜条的褶皱变化,将掩膜板的蒸镀像素位置精度调整在正常使用范围内,提高掩膜板组件的使用寿命,节约成本。

§ Ⅵ

专利附图

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