掩模组件

掩模组件包括掩模框架、遮挡杆、掩模杆、第一间隙杆和热膨胀控制杆。掩模框架设置有开口。遮挡杆在第一方向上跨开口延伸，且其两个相对端联接到掩模框架。掩模杆中的每个在与第一方向相交的第二方向上跨开口延伸，且其两个相对端联接到掩模框架。第一间隙杆可以在第二方向上跨开口延伸，且其两个相对端联接到掩模框架，并且在平面图中与限定在掩模杆之间的第一间隙重叠。热膨胀控制杆在第二方向上跨开口延伸，并且具有比第一间隙杆的热膨胀系数小的热膨胀系数。