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气相沉积连续设备
发明专利未知
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§ Ⅰ
卷宗概要
IPC 分类
C23C 14/24 (2006.01)C23C 14/26 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)H01M 4/36 (2006.01)H01M 4/38 (2006.01)H01M 4/583 (2010.01)H01M 10/0525 (2010.01)H01M 10/054 (2010.01)
本发明属于磷碳负极气相沉积制备技术领域,公开了一种气相沉积连续设备,包括蒸汽发生器、气相沉积炉以及连通管路。蒸汽发生器能够容纳并使第一物料汽化形成蒸汽;气相沉积炉能够容纳第二物料,并使第一物料形成的蒸汽沉积。该连通管路连通于该蒸汽发生器和该气相沉积炉之间,能够将该蒸汽发生器中的该蒸汽导向该气相沉积炉。该气相沉积连续设备能够提升磷碳负极材料气相沉积制样效率。
§ Ⅵ
专利附图
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