气相沉积反应炉

本发明公开了一种气相沉积反应炉，包括外炉管、加热装置和内胆。该加热装置设置于外炉管的外周侧，能够加热该外炉管。该内胆包括内胆本体，该内胆本体固定设置于该外炉管中，该内胆本体在轴线方向上的两端中的一端封闭形成密封端，另一端设置可密封的通料口。该气相沉积反应炉能够均匀反应温度，避免蒸汽冷凝出现固体副产物的问题。