一种用于大面积高均匀材料制备的多温区管式炉

本发明公开了一种用于大面积高均匀材料制备的多温区管式炉，所述多温区管式炉包括炉管舱，炉管舱内设有衬底放置臂，炉管舱外包覆有加热电耦丝组；衬底升降系统与炉管舱内的衬底放置臂连接，衬底升降系统用于升降衬底放置臂，衬底在衬底放置臂的带动下在生长区内移动；原料舟升降系统与原料舱内的原料舟连接，原料舟升降系统用于升降原料舟；原料舟在原料舟升降系统带动下在由原料加热区和原料舱构成的通道内移动。本发明的多气体通道原料舟能够实现多通道气流的均匀流动、经过匀气板后能够进一步分束前驱体及气流，实现大面积衬底上材料的均匀生长。本发明气密性好，进出料数控化，可实现气流及前驱体物质的均匀流动，避免了不均匀的气流分布。