一种方便拆卸更换的低温真空泵

本发明公开了一种方便拆卸更换的低温真空泵，将冷屏、吸附阵和障板固定连接成一体式结构的刚性整体，仅通过吸附阵与制冷机的二级冷头可拆卸固定，维修、维护时可同步整体取出并同步装配复位，无需单独拆分冷屏、吸附阵、障板之间的连接结构，降低了维修、维护时拆卸和安装的操作难度，缩短了维修、维护的时间，当吸附阵固定安装在制冷机的二级冷头上时，冷屏恰好贴合在制冷机的一级冷头上，吸附阵被制冷机的二级冷头冷却维持超低温，冷屏被制冷机的一级冷头冷却维持低温，冷屏与吸附阵之间隔热连接，隔绝冷屏与吸附阵之间的温度传递，维持吸附阵与冷屏之间温度差，冷屏与障板之间导热连接，使障板与冷屏温度保持一致，确保低温真空泵的正常运行。