一种低温吸附泵

本发明涉及真空低温吸附技术领域，公开了一种低温吸附泵，其包括泵壳、冷屏、障板、吸附板、制冷机和传热组件；通过第一冷凝器与冷头的贴合以使得气态相变工质在冷量作用下冷凝为液态，由第一蒸发段均匀吸收障板和冷屏的热量，并将液态相变工质蒸发为气态，经由第一上升段上升回到第一冷凝器以进行下一轮循环，由此通过对障板和冷屏进行均匀冷却，传热效率高于冷屏自身的固体刚性传导，有效降低障板和冷屏的温度，减少障板和冷屏对吸附板的热负荷和热对流；同时通过第二蒸发段贴合并环绕于各吸附板设置，对多个吸附板进行均匀冷却，有效减少不同吸附板的温差，进而使得吸附材料吸附量较为均匀，继而提升低温吸附泵整体的吸附效率和工作稳定性。