磁流体密封装置及化学气相沉积设备

本发明属于半导体加工技术领域，公开了磁流体密封装置及化学气相沉积设备，磁流体密封装置包括旋转电机及从轴心由内至外依次设置的内轴套、外轴套和基座轴套，内轴套和外轴套之间设有第一磁流体结构，外轴套和基座轴套之间设有第二磁流体结构，旋转电机驱动外轴套旋转，基座轴套用于连接被密封件，内轴套和外轴套之间设有第一轴承结构，外轴套和基座轴套之间设有第二轴承结构；第一轴承结构包括沿内轴套的轴向间隔设置的两个第一轴承体，第二轴承结构包括沿轴向间隔设置的两个第二轴承体，第一磁流体结构设置于两个第一轴承体之间，和/或，第二磁流体结构设置于两个第二轴承体之间。本发明通过上述设置提高磁流体密封装置的通用性和安装便利性。