一种可调式激光干涉仪光学测试平台

本发明涉及光学精密检测设备技术领域，尤其是涉及一种可调式激光干涉仪光学测试平台，其包括基准底板、激光干涉仪和上位机工控系统，基准底板上安装有直线导轨一和直线导轨二，直线导轨一上通过干涉仪移动滑台安装有用于驱动激光干涉仪在水平至竖直范围内旋转的俯仰调节台，直线导轨二上通过被测工件移动滑台安装有用于装载被测工件的六自由度精密调节平台，直线导轨一和直线导轨二上分别设置有光栅尺组件。本发明结构集成度高、调节精度高、适配性强，可覆盖光学元件平整度、位移精度、面形误差等多场景干涉检测，大幅提升激光干涉检测平台的通用性与测试范围，适用于精密光学、半导体、精密机械零部件高精度检测工况。