一种基于多波长协作的跨介质原位位移测量方法及系统

本发明提供一种基于多波长协作的跨介质原位位移测量方法及系统，涉及属于光学精密测量、激光位移传感与智能制造检测技术领域，本发明使用多种不同波长激光经同一发射光路依次照射工件表面同一测量位置形成光斑；根据工件表面残余液体的半径确定工件表面残余液体的几何形态；建立跨介质测量模型，求解跨介质测量模型，得到工件表面真实位移估计值。本发明无需预先准确获取液体折射率、液体厚度或介质类型等参数，增强了测量方法对复杂加工现场的适应能力。通过分析残余液体在工件表面可能呈现的液膜和椭球状液滴等典型形态，并将其纳入统一的跨介质测量框架，更好地适应实际加工现场中残余液体形态不确定的情况。