芯片式光谱仪

本发明提供一种芯片式光谱仪，包括：N个依次排布的光谱仪单元，各光谱仪单元的光程差不相等，N为大于等于2的自然数；各光谱仪单元均包括通过连接波导依次连接的耦入结构、分光器、非对称干涉臂、合束器及耦出结构；其中，非对称干涉臂包括具有不同光程的第一、第二波导臂，第一、第二波导臂均包括由若干直波导和弯曲波导构成的绕线结构。本发明通过第一、第二波导臂的绕设，减小各光谱仪单元在排布方向上的尺寸，进而实现密集波导排布，在同等面积下可排布更多数量的光谱仪单元，提高光收集效率和光采集通量，有利于微弱信号的检测；同时减小芯片尺寸和成本；还采用3dB分光器实现分光，有效增大调制深度，提高信噪比。