非制冷红外探测器及其制备方法

本申请公开一种非制冷红外探测器及其制备方法，该非制冷红外探测器包括衬底、反射层及微桥结构。微桥结构，包括依次连接的桥墩、桥腿及桥面；桥墩包括桥墩支撑层、连接层、桥墩导电层及桥墩钝化层。连接层的厚度大于桥腿导电层的厚度。在形成桥墩孔后，先通过连接层覆设于桥墩孔的内壁，使得连接层与反射层连接，随后形成导电层。由于连接层的厚度大于桥腿导电层的厚度，可以确保导电层通过连接层稳定地与反射层连接，避免出现不连续的情况，防止测试时图像上呈现“黑点”，而且仅在桥墩处增设厚度大于桥腿导电层的连接层，无需增加桥腿导电层的厚度，从而避免桥腿导电层的横截面积增大导致热导增加，进而避免影响探测器的响应性能。