一种适用于疲劳加速试验的MEMS结构及其疲劳加速试验方法

本发明公开了一种适用于疲劳加速试验的MEMS结构及其疲劳加速试验方法，MEMS结构为硅基上下电容式结构，包含可动梳齿组件与固定梳齿组件，静电加力极板采用错位排布，分为部分错位、全部错位两种形式；部分错位结构保留梳齿交叠区域提供基础静电力，错位段依靠电场边缘效应补充驱动力，同时释放悬臂梁形变空间，解决传统正对梳齿结构静电驱动力与形变行程相互制约的技术难题。本发明配套电激励疲劳加速试验方法，可自由调控加载频率与应力幅值，兼容温湿度、振动多场耦合环境，能够实现大应变、高频率循环疲劳加载，精准采集MEMS结构疲劳寿命数据并构建疲劳失效模型。