一种MEMS微镜阵列及加工方法

本发明属于微光机电系统领域，涉及一种MEMS微镜阵列及加工方法，相位调制器结构能够降低静电驱动微镜阵列的各层间隙厚度，降低加工工艺难度并提高器件可靠性；公开的像素驱动电路在工作时，可以通过DAC模块以及CMOS驱动电路，对驱动电极提供多阶驱动电压，控制反射镜面产生多阶位移，实现多阶相位调制，并且可以通过调节各阶驱动电压的大小，实现均匀的各阶镜面位移，提高相位调制精度。本发明相较于现有技术，无需制作多个驱动电极，降低了对加工工艺的要求，且能实现的相位调制阶数更多，可提高调制器静电各阶驱动位移的线性度，使得调制器在光学系统中的效率得到提升。