一种基于悬空石墨烯调控相变材料光学性质的调制器

本发明公开了一种基于悬空石墨烯调控相变材料光学性质的调制器。上述调制器，包括：衬底，衬底的上表面设有沟道阵列；悬空石墨烯微加热器阵列，包括横跨沟道阵列中各个沟道的石墨烯功能条带，石墨烯功能条带的中部悬空于沟道阵列上方形成悬空区域，石墨烯功能条带的两端分别设置在沟道两侧的衬底上表面；源漏电极阵列，包括多组源漏电极，每一组源漏电极分别与对应的石墨烯功能条带的两端接触；相变材料层，设置于石墨烯功能条带的悬空区域的上表面，相变材料层在受热驱动下发生晶相转变以改变光学性质。本发明采用悬空石墨烯结构，使石墨烯与衬底之间形成空气间隙，从而从根本上切断了焦耳热向衬底进行面外热传导的固体传热路径。