一种多级对准系统及对准方法

一种多级对准系统及对准方法，属于精密对准技术领域。所述多级对准系统包括：目标保持模块，用于承载设有目标标记和第一光栅的目标物；运动模块，用于承载设有对准标记和第二光栅的对准物；第一对准模块，基于所述对准标记，驱动运动模块移动对准物移动至目标物的正下方；第二对准模块，包括成像校正组件、粗对准组件和精对准组件；其中：成像校正组件提取目标标记进行粗对准组件和精对准组件的对焦；粗对准组件实现对准物与目标物的粗对准；精对准组件实现对准物与目标物的精对准。本发明基于多级对准及三阶光栅的结构设计，减少系统误差对对准精度的影响，大大提高纳米压印的对准精度。