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用于激光诱导刻蚀的移动边界耦合建模及裂纹风险评估方法及系统

发明专利未知
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10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

周连弘; 吕浩; 朱腾良; 冷杰武; 刘强

申请日

Jul 10, 2026

公开日

Oct 20, 2026

IPC 分类

G06F 30/20 (2020.01)G06F 17/10 (2006.01)G06F 111/04 (2020.01)G06F 119/08 (2020.01)G06F 119/14 (2020.01)

本发明公开了用于激光诱导刻蚀的移动边界耦合建模及裂纹风险评估方法及系统,方法包括接收作为统一接口的参数向量,基于参数向量构造脉冲串叠加的体热源项并求解热传导方程获得温度场;基于体热源项计算累计能量沉积并映射为改性程度场;将温度场和改性程度场共同代入热弹性本构方程求解瞬态应力场及残余应力场;基于改性程度场建立改性增益与刻蚀选择比,确定界面法向速度,以刻蚀时间步迭代更新孔边界并在每次更新后重新求解应力场;最终结合得出的多个中间变量输出裂纹风险综合判断结果。本发明将激光热输入、改性形成、应力建立和刻蚀去束缚统一于同一计算流程,实现移动边界与应力重分布的迭代耦合,为工艺优化与裂纹控制提供建模基础。