一种半导体设备自动化程序多策略任务调度方法及系统

本发明公开了一种半导体设备自动化程序多策略任务调度方法及系统，其中方法包括：建立包含多种调度策略的候选调度策略集合；获取待调度任务，加入任务队列；获取待调度任务中的晶圆批次、工艺流程和任务参数；从候选调度策略集合中调用第一调度策略；基于第一调度策略和任务参数，对任务队列进行排序，确定执行优先级；获取候选设备的状态信息；从候选调度策略集合中调用第二调度策略；基于第二调度策略和候选设备的状态信息，为任务队列中的任务选择目标设备；将任务队列中的任务分配至对应的目标设备执行，并更新任务队列的状态信息。通过建立候选调度策略集合，后续能灵活调用调度策略，实现了调度策略的多元化与灵活配置,以满足生产需求。