一种基于波前反馈的压电自适应X射线反射镜面形控制系统及方法

本申请提供了一种基于波前反馈的压电自适应X射线反射镜面形控制系统及方法，所述系统包括：X射线反射镜、波前探测器、压电控制器、压电作动器组；压电作动器组包括沿反射镜子午方向排布的奇数个压电作动器，其中中间压电作动器与热负载所致面形变形峰值位置对应。压电控制器根据反射后的X射线波前信息确定当前残余波前误差，并判断其是否满足预设波前保持条件；不满足时，根据各压电作动器的单位响应关系及预设电压约束生成压电作动器电压，以驱动压电作动器调节反射镜面形，并通过重新采集波前信息形成闭环控制。本申请能够提高X射线反射镜在热负载下的波前保持精度。