一种基于背光反馈的窄线宽混合集成激光器及其制备方法

本发明涉及半导体激光器技术领域，具体为一种基于背光反馈的窄线宽混合集成激光器及其制备方法，所述基于背光反馈的窄线宽混合集成激光器，包括：增益芯片，采用III‑V族半导体材料制备，具有激光输出端和背光输出端，所述背光输出端用于输出主激光，所述激光输出端与所述输入波导光学耦合；混合集成基板，所述增益芯片倒装键合于所述混合集成基板上，所述混合集成基板上集成有光波导结构和反馈调控结构；所述光波导结构包括输入波导、反馈波导、输出波导和相位调控波导。本发明全部采用现有成熟的半导体工艺和混合集成技术，与硅基光电子平台兼容，制备过程简单，可实现批量生产。