一种用于SiC晶体外延生长机台的大功率双端口多模态LCLCL电流型特种电源及控制方法

本发明涉及一种用于SiC晶体外延生长机台的大功率双端口多模态LCLCL电流型特种电源及控制方法。所述特种电源包括两台直流电流源、第一改进型逆变器、第二改进型逆变器、双端口LCLCL谐振腔及控制器；所述双端口LCLCL谐振腔由端口侧匹配电感、匹配电容以及负载侧感应等效支路构成，两端分别由两台改进型逆变器供电。所述控制器根据SiC晶体外延生长工艺功率指令、谐振频率跟踪结果，在单端半桥、单端全桥、混合全桥、双端全桥以及故障切除模态之间分段切换，并采用脉冲密度调制生成开关序列。本发明能够在SiC晶体外延生长机台的高温热场供能过程中实现宽功率供能、低系统损耗、多模态自适应连续供能，有利于提高SiC外延生长机台特种电源的效率、可靠性和热场稳定性。