体声波滤波器及其制备方法

本申请涉及一种体声波滤波器及其制备方法。体声波滤波器的制备方法包括：提供衬底；于衬底的表面形成声学反射镜；于声学反射镜远离衬底的一侧形成底电极层；于声学反射镜远离衬底的一侧形成压电层；于压电层远离所述声学反射镜的一侧形成顶电极层；于压电层远离声学反射镜的一侧形成第一频率温度系数补偿层；于第一频率温度系数补偿层远离压电层的一侧形成附加布线层。本申请中，谐振腔中形成的大部分驻波会被束缚在第一频率温度系数补偿层中，底电极层、压电层、顶电极层和第一频率温度系数补偿层均可以使用更厚的厚度来实现给定的共振频率，简化了制备过程，在高频工作状态下，可以实现低损耗、宽宽度、低温度灵敏性、小尺寸和易于制造等优点。