X射线发生装置

一种X射线发生装置，具备：X射线管，其具有产生电子束的电子枪、通过电子束撞击而产生X射线的靶材以及收纳电子枪和靶材的真空壳体；和控制部，其控制X射线管的驱动，控制部执行：使电子束对靶材的照射范围成为希望的照射范围的实际使用模式；和在实际使用模式之前执行的预加热模式，从预加热模式的开始时刻到实际使用模式的开始时刻为止，撞击靶材的电子的密度上升。