三端口双向SCR结构的ESD保护器件

本发明公开了一种三端口双向SCR结构的ESD保护器件，在衬底中的一整体隔离区中，包含从左至右的A、B、C三个相邻的子隔离区；所述的A隔离区中形成端口1，C隔离区中形成端口2，位于中间的B隔离区中形成端口3；所述的端口1至端口3，以及端口2至端口3，均构成双向SCR；端口3接地，作为端口1和2共享的泄放路径，形成两组双向SCR通路。本发明结构可以多路I/O共享一路泄放路径，且I/O路数越多结构集成效率越高，芯片面积节约越明显，适合高密度多I/O端口的芯片；具备双向防护能力，解决负压总线I/O对GND漏电问题，可灵活调节击穿电压，不同结构适配不同电压应用场景需求；ESD电流泄放能力强，钳位效果优异。